离子蚀刻机 10-m/ns-5
上海伯东日本ns进口离子蚀刻机 10-m/ns-5，适合小规模生产使用和实验室研究用的离子刻蚀机。
离子蚀刻机 10-m/ns-5 主要技术参数：
基片尺寸
直径 6英寸 x 1片
样品台
直接冷却，单独冷却
离子源
10cm 考夫曼离子源
电源
well-2000(可更换为国内电源
上海伯东是日本ns离子蚀刻机中国总代理，ns离子蚀刻机对磁性材料、黄金、铂和合金金属提供最佳蚀刻技 术，很容易做各种材料的蚀刻，主要应用于薄膜磁头 (thin film magnetic head)，自旋电子学 (spintronics)，mr sencer，微电子机械系统 (mems micro-electromechanical systems)，射频设备 (rf devices)，光学组件 (optical component)，超导电性 (super conductivity)等。可依据客户实际需要，提供客制化服务。
ns离子蚀刻机主要优点：
干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件， mr sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。 物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。 配置使用美国考夫曼公司制造的原装离子源。 射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。 基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。 配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。 机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。
上海伯东主营产品：德国普发 pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 kri 原装离子源，美国 hva 真空阀门，polycold 冷冻机，离子刻蚀机等。
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